【物性分析】台阶仪

仪器简介：

功能：台阶高度、粗糙度、波纹度、翘曲度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌测量及分析。低测定力模式不仅能够避免划伤样品，也能对于软性样品进行测试，适合于各类晶片、薄膜、涂层、MEMS、平板显示等领域的表面测量。

优势：采用了Kosaka独有的直动式台阶测量方式，有效避免了传统杠杆式台阶仪所带来的圆弧误差。全身花岗岩材质的低重心设计，起到了良好的自隔震作用，从而使仪器拥有极高的分辨率和极佳的重复性。

主要技术参数：

1.Z方向分辨率≤0.1 nm，线性度≤±0.25%

2.样品台的垂直直线度：局部0.005 μm/5 mm、全量程0.2 μm/100 mm

3.X方向最大单次测量长度：100 mm

应用领域：

广泛应用于半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等领域样品的台阶高低差、平面度、波纹度、翘曲度、内应力、微细表面形状、段差、粗度等测量。