【物性分析】X射线光电子能谱仪

仪器简介：

功能：配置多项拓展功能，能实现扫描/平行成像、XPS采谱、角分辨XPS、刻蚀深度剖析、REELS、UPS、ISS等多项功能。

优势：配置高达0.44 eV能量分辨率的半球能量分析器和束斑最小可调节缩小至14.5 μm的微聚焦单色化X射线源，能实现对样品微区域的准确分析；中和枪系统包含同轴非准直电子中和源及同源双束中和源，能实现对大部分半导体、绝缘体样品的分析；配置MAGCIS复合型离子源，包括高效单粒子离子源及团簇离子源。其中团簇离子源较传统的单粒子离子源对样品破坏较小，能实现对有机物的深度剖析。

主要技术参数：

1、能量扫描范围0~1500 eV，通过能范围1~400 eV；

2、束斑范围：20~900 μm；

3、能量分辨率0.44 eV，灵敏度1.5Mcps@0.6 eV (650 μm束斑)；

4、成像空间分辨率为3 μm；

5、原位气体反应室能够实现加热温度达到1000 ℃的处理，同时可通入至少四路的反应气氛。

应用领域：

可实现对有机聚合物、无机物、金属、半导体等样品表面除氦以外的所有元素，进行元素种类及化学价态的分析、相对含量的半定量分析、表面刻蚀及深度剖析、价态电子结构分析以及导电性较好的材料的功函数的测量。